硅烷是硅与氢的不同分子结构的化合物，有甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷、环戊硅烷硅烷等多种类型，硅烷生产装置在原料和产品装卸及生产过程中都会正常有组织排放原料、中间体和产品尾气，并且在操作事故时会紧急排放大量原料、中间体和产品气液混合物，这些气液混合物包含甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷、环戊硅烷等硅烷类型的两三种或更多种类。

氯硅烷是硅、氯、氢的化合物，有一氯三氢硅、二氯二氢硅、三氯氢硅以及四氯化硅，在生产中也会有组织排放原料、中间体和产品尾气，并且在操作事故时会紧急排放大量原料、中间体和产品气液混合物。

硅烷和氯硅烷排放的尾气都是易燃易爆和有毒有害物质，如果处理不当造成泄漏，会带来燃爆和危及生命健康的严重事故，所以生产企业以及环保、安全监察职能部门都非常重视这类生产装置的尾气处理。硅烷和氯硅烷尾气根据不同工况条件，可以选择湿法水解或干法焚烧工艺。湿法水解工艺是将硅烷、氯硅烷尾气通过碱催化水解，再经过多级洗涤吸收未能水解的尾气，使尾气中的氯化氢等有害气体达到环保排放标准要求。中和碱采用烧碱或石灰，也可以联合采用石灰和烧碱，产出物为活性二氧化硅、氯化钙、硅酸钠、硅酸钙、氯化钠的单独固体或混合固体，可以作为产品销售。装置工艺水循环使用，不排放废水。如果装置尾气排放速率相对稳定，排放速率大小相差不大，尤其是较难水解的硅烷品种，可以选用干法焚烧工艺模式，使用天然气作为引燃和加热燃料，配入合适流量的助燃空气，使送入焚烧炉的尾气燃烧和分解，燃烧分解尾气与固体活性二氧化硅分离后，经过烧碱水溶液多级洗涤吸收，达标后高空排放。产出物为二氧化硅和液体硅酸钠，可以作为产品销售，装置工艺水循环使用，不排放废水。硅烷和氯硅烷尾气处理的副产品，因杂质较少，以适当的价格易于销售，可以显著降低尾气处理成本。